APD-Sシリーズ（コーティング装置）
種類 アークプラズマ法ナノ粒子形成装置
アドバンス理工ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽ理工アルバック理工ｱﾙﾊﾞｯｸ理工。APD-Sシリーズ（コーティング装置）アークプラズマ法ナノ粒子形成装置APD-S seriesは，パルスアーク蒸着により，膜の平坦性，微粒子の形成など他の蒸着法では得られない効果が得られるアークプラズマ成膜装置
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